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            網絡化技術和網絡化傳感器傳感器網絡化技術

            我國壓力變送器的技術和產品,經過發展,有了較大的提高,全國已經有1600多家企事業單位從事傳感器研制、開發、生產,但與國外相比,我國傳感器產品品種和質量水平,尚不能滿足國內市場的需求,總體水平還處于國外上世紀90年代初期的水平,存在的主要問題有:

            (1)科技創新差,核心制造技術嚴重滯后于國外,擁有自主知識產權的產品少,品種不全,產品技術水平與國外相差15年左右。

            (2)投資強度偏低,科研設備和生產工藝裝備落后,成果水平低,產品質量差。

            (3)科技與生產脫節,影響科研成果的轉化,綜合實力較低,產業發展后勁不足。

            壓力變送器技術工藝:

            (1)MEMS工藝和新一代固態傳感器微結構制造工藝:深反應離子刻蝕(DRIE)工藝或IGP工藝,封裝工藝:如常溫鍵合倒裝焊接、無應力微薄結構封裝、多芯片組裝工藝;新型壓力變送器:如用微硅電容傳感器、微硅質量流量傳感器、航空航天用動態傳感器、微傳感器,汽車專用壓力、加速度傳感器,環保用微化學傳感器等。

            (2)集成工藝和多變量復合傳感器微結構集成制造工藝,工業控制用多變量復合傳感器,如:壓力、靜壓、溫度三變量傳感器,氣壓、風力、溫度、濕度四變量傳感器,微硅復合應變壓力傳感器,陳列傳感器。

            (3)智能化技術與智能傳感器信號有線或無線探測、變換處理、邏輯判斷、功能計算、雙向通訊、自診斷等智能化技術,智能多變量壓力變送器,智能電量傳感器和各種智能傳感器、變送器。

            (4)網絡化技術和網絡化傳感器傳感器網絡化技術:網絡化傳感器,使傳感器具有工業化標準接口和協議功能。


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